آنالیز SEM

میکروسکوپ الکترونی روبشی یا SEM یکی از اعضای خانواده میکروسکوپ‌های الکترونی است که برای تصویربرداری از نمونه و بررسی ویژگی‌های سطحی و مورفولوژی آن استفاده می‌شود. در این روش، تصاویر توسط الکترون‌ها ثبت می‌شوند که قدرت بزرگنمایی بسیار بالا نسبت به میکروسکوپ‌های نوری دارند و می‌توانند تا چند صد هزار برابر بزرگنمایی داشته باشند.

دستگاه SEM قدرت تفکیک و بزرگنمایی پایین‌تری نسبت به دستگاه FESEM دارد. با این حال، برای ذراتی با اندازه بزرگتر از ۳۰۰ نانومتر، همچنان می‌توان از دستگاه‌های SEM معمولی استفاده کرد. دستگاه SEM مهامکس با دارا بودن آشکارساز EDS قابلیت تحلیل و مقایسه میزان عناصر را در کنار تصویربرداری فراهم می‌کند. آنالیز EDS قابلیت منحصربه‌فردی در تعیین برخی عناصر سبک مانند اکسیژن و کربن را نسبت به روش‌های دیگر مانند آنالیز XRF و ICP دارد.